L1 covers the SEMI S2 framework and equipment safety fundamentals. L2 covers risk assessment, electrical design, fire protection and mechanical safety.

Introduction

SEMI 半导体行业作为高端制造行业，不仅投资额巨大，对于设备的安全性要求也及其严苛。SEMI S系列安全导则旨在为半导体生产设备提供环境、健康、安全方面的指引，减少因为安全事故而导致的人员伤害、财产损失以及环境污染。其内容涵盖半导体设备安装指导、废气处理、危险警告标签、液体加热系统、通风排气、资质评估、人机工程、危险评估、生产设备净化、安全指导手册、防火安全、安全联锁系统电子设计、电离辐射、激光辐射等级、噪音污染等级等内容。SEMI S系列标准被广泛应用于半导体设备制造与应用。SEMI 工艺机台EHS设计等级培训课程旨在为半导体领域的从业人员提供一个机会理解SEMI标准是如何在半导体设备的研发、制造、使用等各个环节的指导作用的。

Training objectives

1. 基本掌握SEMI S2 标准，了解半导体设备所涉及的主要风险类别
2. 基本掌握 SEMIS10 风险分析的方法
3. 设备制造人员具备基本的风险评估与通过设计以及工程手段消除或降低风险的能力。对于设备使用人员可以初步分析相关半导体设备的初步读懂由第三方机构出具的SEMI S2报告，并能判别各项目的符合性。

Target audience

半导体设备的设计、研发、电气、机械、质量、安装、保养、维修、支持等相关人员。
半导体设备的终端使用人员、EHS、安环部门人员

Course content

L1

SEMI 标准体系介绍
SEMI S2 介绍
SEMI S2§9 & SEMI S13：文档要求
SEMI S2§10：安全标识
SEMI S2§11：安全联锁系统
SEMI S2§12：紧急断电
SEMI S2§13：电气设计
SEMI S2§14：火灾防护
SEMI S2§15：液体加热系统
SEMI S2§16：人体工程学
SEMI S2§17：危险能源隔离
SEMI S2§18：机械设计
SEMI S2§19：地震防护
SEMI S2§20：自动化物料搬送装置
SEMI S2§21：环境考量
SEMI S2§22：排气通风
SEMI S2§23：化学品
SEMI S2§24：电离辐射
SEMI S2§25：非电离辐射
SEMI S2§26：激光
SEMI S2§27：噪声
SEMI S2 报告要求及结构说明
SEMI S2 认证所需文档资料及要求
SEMI S2 文档资料评审

L2

风险评估与电气控制回路性能等级要求专题：风险评估方法；电气控制回路性能等级评估
半导体工艺机台电气安全设计准则专题：电气元件符号、电气零部件合规性、使用环境与条件要求、供电端子与主断开装置、防触电、设备保护、保护接地、控制回路、急停与安全联锁、人机界面、控制元件、线缆、布线、电机、附件与照明、PCB设计要求、加热系统设计要求、铭牌与警告标识、技术文档、电气测试、控制柜短路电流(SCCR)计算
火灾防护与火灾事故调查专题：火灾原理；火灾风险评估、火灾防护措施；火灾事故现场评估
机械安全专题：Wafer handler与load port安全设计要求；机械风险评估、安全距离、安全间隙；固定防护罩、联锁防护罩设计要求；防护装置安全距离要求；人体承受外力安全限值