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SEMI / STANDARDS & SAFETY

SEMI 标准

围绕半导体设备安全、工程师资质与标准化运营建立的专业参考体系。

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01 / 概览

与产业共同演进的标准体系

SEMI 成立 50 余年来,一直致力于国际标准的制定。SEMI 全球有 1,300,000 多名志愿者、来自 2,260 多家公司投身于 SEMI 国际产业技术标准活动,代表着全球各地产业的呼声和需求。

目前 SEMI 全球已成立 20 个标准委员会及 216 个工作小组,已经制定超过 1,100 余项、16 大类的标准及安全相关准则,并广为全球 IDM 厂、晶圆厂、封装测试厂及设备企业应用。

50+年标准工作积累
130万+全球志愿者
20标准委员会
216工作小组
1100+标准及安全准则
16大类标准体系
SEMI S 系列标准

SEMI S 系列标准

半导体设备 SEMI 认证评估是根据 SEMI 国际标准环境健康和安全委员会(EHS TC)制定的 S 系列全球性行业标准和准则,适用于半导体材料和制造设备,是半导体业界对设备的必备规格要求,可有效降低危害风险。

S 系列涵盖半导体设备安装指导、废气处理、危险警告标签、液体加热系统、通风排气、资质评估、人机工程、危险评估、生产设备净化、安全指导手册、防火安全、安全联锁系统、电气设计、电离辐射、激光辐射等级及噪音污染等级等内容。

1986S 系列标准最早诞生
1991SEMI S2 发布出版
S2-0724材料所列最新英文版本
SEMI 标准认证的重要性

SEMI 标准认证的重要性

SEMI S 系列标准对半导体行业的安全和可持续发展具有深远影响。符合 SEMI 要求不仅符合国际相关规定,也是主流芯片制造商引进机台设备时的重要安全判别标准,已成为国际通行并被产业链广泛认可的通行证。

晶圆厂家均要求设备及子系统厂商提供 SEMI 标准认证证书。典型采购规格包括 SEMI S2 安规认证、SEMI S6 排气通风、SEMI F47 电压暂降及 SEMI S23 能效;材料中还列举 Intel、TSMC、TEL、YMTC、CXMT、NAURA、AMEC、ACM 等产业案例。

02 / 标准目录

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显示 30 / 30 项标准
01SEMI S1设备安全标签安全指南02SEMI S2半导体制造设备的安全卫生及环保标准03SEMI S3制程液体加热系统的安全标准04SEMI S4供应柜内化学品钢瓶隔离的安全标准05SEMI S5气体钢瓶限流装置尺寸估量及鉴定的安全标准06SEMI S6半导体制造设备排气通风的标准07SEMI S7半导体制造设备安全卫生及环保评估人员和公司的资格标准08SEMI S8半导体生产设备的人机工程安全标准09SEMI S10风险评估及风险估算过程的安全标准10SEMI S12设备除污标准11SEMI S13为设备使用者提供安全健康及环保指南的文件标准12SEMI S14半导体制造设备的火灾风险评估与降低安全指南13SEMI S16半导体制造设备寿命终了阶段减少环境冲击的设计标准14SEMI S17无人搬运车(UTV)系统的安全标准15SEMI S18硅烷族气体处理的安全卫生及环保标准16SEMI S19半导体设备安装、保养及维修人员训练的安全标准17SEMI S21人员防护安全标准18SEMI S22半导体制造设备电气设计安全指南19SEMI S23半导体制造设备的能源、电力、原料节约标准20SEMI S24多雇主工作区的安全标准21SEMI S25过氧化氢贮存及搬运系统的安全标准22SEMI S26FPD 制造系统的环境、卫生与安全标准23SEMI S27环境、安全与卫生(ESH)评估报告内容的安全指南24SEMI S28半导体生产设备机器人与 Load Port 安全指南25SEMI S29含氟温室气体排放特性描述与减量指南26SEMI S30半导体研发与制造过程中高能材料使用的安全指南27SEMI F14气源设备箱体设计规范28SEMI F15示踪气体测试方法29SEMI F42半导体制程设备电压跌落抗扰度测试方法30SEMI F47半导体制程设备电压跌落抗扰度测试规格
03 / 等级体系

从理解标准,到专业进阶

SEMI 安全标准工程师资格等级体系

半导体制造安全系列标准是 SEMI 协会下环境健康与安全标准技术委员会制定的全球性半导体安全标准和准则,适用于半导体材料和设备制造,是半导体业界对设备的必备安全规格要求。

SEMI 注册安全工程师考核基于 SEMI S7 标准,为半导体设备设计、制造与使用领域从业人员提供从业资质证明,有助于提高相关从业人员对安全规范的理解及运用,也是半导体晶圆厂、设备制造企业进行安全工厂认证的重要考量因素。

01L1

基础级工程师资质

专科毕业,具备 1 年及以上半导体制造从业经历;维持有效课时证明,可申请报考 L1。

02L2

进阶级工程师资质

本科毕业,具备 3 年及以上半导体制造从业经历;维持有效课时证明及有效 L1 证书,可申请报考 L2。

03L3

高级工程师资质

本科毕业,具备 5 年及以上半导体制造从业经历;维持有效课时证明及有效 L2 证书,可申请报考 L3。

报名方式

在您填写《SEMI 安全标准工程师考核申请表》前,请仔细阅读《MooreCharm网站隐私政策》以了解我们如何处理您的个人信息;如您对此表示同意,请将申请表发送至 einwu@semi.org。

资格成长路径

资格成长路径

01

建立经历记录

持续保留有效课时证明,并积累与半导体制造相关的从业经历。

02

提交考核申请

填写《SEMI 安全标准工程师考核申请表》,按要求准备并提交证明文件。

03

按等级逐级进阶

凭有效 L1 或 L2 证书作为下一等级的报考前置条件。

i

材料说明:可以通过“在线查询”确认自己是否具有申请报考所需的文件。报名填写申请表前,请阅读 MooreCharm 网站隐私政策;如同意,请将申请表发送至 einwu@semi.org。

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